常見故障現象及處理方法系列一：質譜無法正常開機

質譜長期未使用、異常關機后可能會出現無法正常開機情況，下面我們介紹一些質譜無法正常開機后的處理方法。

一、質譜開機步驟及易故障現象

1、檢查氣體壓力是否正常（參考下圖）。

若壓力異常，調節相應閥門使之達到正常壓力。

若出現無壓力或調節閥門無效情況，請及時聯系工程師檢修氮氣發生器或檢修氣路。

2、檢查機械泵油量，如需要，請及時更換泵油（請參考：機械泵維護指南。（超鏈接）

），打開機械泵。

若機械泵無法開機或出現異響，請及時聯系工程師檢修。

3、約30min后打開質譜主機電源，質譜指示燈點亮，并在常亮之后開始閃爍。

若指示燈無法點亮，檢查電源線是否松動。若無松動，請及時聯系工程師檢修質譜。

4、進入Analyst軟件，激活質譜并打開質譜狀態圖標，查看儀器狀態。

4.1以API 4000為例。

（1）、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機械泵正常運轉。

若出現Disabled，請及時聯系工程師檢修機械泵。

（2）、觀察Analyzer Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變為 Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯系工程師檢修質譜。

（3）、觀察Interface Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變為 Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯系工程師檢修質譜。

（4）、觀察Vacuum Gauge，由初始OFF，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數。

若一直處于OFF，請及時聯系工程師檢修質譜。

注：質譜狀態及其含義，請參考邁斯培訓系列五：質譜報錯怎么辦？軟件死機了怎么辦？（超鏈接）

（5）抽真空過夜，觀察Vacuum Gauge，達到要求真空度，質譜圖標變為黃色，開機正常。

若無法達到要求真空度或質譜圖標變紅，請及時聯系工程師檢修質譜。

4.2 以Triple Quad 5500為例。

（1）、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機械泵正常運轉。

若出現Disabled，請及時聯系工程師檢修機械泵。

（2）、觀察Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變為 Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯系工程師檢修質譜。

（3）、觀察Vacuum Gauge，由初始OFF狀，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數。

若一直處于OFF，請及時聯系工程師檢修質譜。

（4）抽真空過夜，觀察Vacuum Gauge，達到要求真空度，質譜圖標變為黃色，開機正常。

若無法達到要求真空度或質譜圖標變紅，請及時聯系工程師檢修質譜。

注：待機狀態（CAD=0）真空范圍參考

二、質譜異常關機故障排查

質譜在運行過程中突然關機。

1、檢查氣體壓力是否正常。若壓力異常，調節相應閥門使之達到正常壓力。

若出現無壓力或調節閥門無效情況，請及時聯系工程師檢修氮氣發生器或檢修氣路。

2、檢查機械泵是否正常運轉。

若機械泵無法運轉，請及時聯系工程師檢修機械泵。

3、觸摸分子泵外殼溫度是否正常。

若分子泵溫度異常高，請及時聯系工程師檢修質譜。

4、嘗試開機，觀察分子泵運轉時聲音是否正常。

若分子泵運轉時有異常噪音，請及時聯系工程師檢修質譜。

5、若無法正常開機，請查看event log并聯系工程師檢修質譜。

請參考邁斯翔禾培訓系列二：如何查看和保存 Event Log（超鏈接）

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