安捷倫氣質聯用儀的真空系統是質譜部分的核心組件，其作用是為離子源和質量分析器提供高真空環境，確保離子傳輸和檢測的穩定性。
一、真空系統的作用
1.維持高真空環境：
質譜儀的離子源和質量分析器需要在高真空下工作，以防止氣體分子與離子碰撞，影響檢測結果。
真空度不足會導致靈敏度下降、分辨率降低，甚至無法正常工作。
2.保護關鍵部件：
高真空環境可減少離子源和質量分析器的污染，延長其使用壽命。
防止樣品氣體進入質譜儀內部，避免對電子元件的腐蝕。
1.前級泵：
通常是渦輪分子泵或干式渦旋泵，用于初步抽真空，將系統壓力降低到分子泵的工作范圍。
前級泵的性能直接影響真空系統的效率。
2.分子泵：
高抽速的渦輪分子泵是真空系統的核心，負責將系統壓力降低至高真空水平。
分子泵通過高速旋轉的葉片將氣體分子抽出。
3.真空規：
用于實時監測系統壓力，確保真空度符合要求。
常見的真空規包括熱偶規和電離規。
4.真空管路與閥門：
連接各泵和質譜儀的管路需要密封良好，防止漏氣。
閥門用于控制真空泵的啟動和停止，以及隔離不同區域。
捕集器（可選）：
用于吸附泵油蒸氣或其他活性氣體，防止其進入質譜儀內部。
常見類型包括冷阱或化學捕集器。
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